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真空檢漏的方法有哪些?
發(fā)布時(shí)間:2024-07-01 瀏覽:63 次

  氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規檢漏,另一種為逆擴散檢漏。

       逆擴散原理如圖所示。逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著(zhù)泵的排氣方向進(jìn)入安裝在泵的進(jìn)氣口端的質(zhì)譜管內而被檢測。

  這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進(jìn)氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設計的。

  逆擴散方式檢漏允許被檢件內壓強較高,SFJ-231/241型氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長(cháng)等優(yōu)點(diǎn)。

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